| Type |  Book |
| ชื่อเรื่อง | Electrolytic in-process dressing (ELID) technologies [electronic resource] : fundamentals and applications / edited by Hitoshi Ohmori, Ioan D. Marinescu and Kazutoshi Katahira |
| ISBN | 1439800367 |
| | 9781439800362 |
| พิมพลักษณ์ | Boca Raton : CRC Press, 2011 |
| | Boca Raton, FL : Taylor & Francis, c2011 |
| รูปเล่ม | 264 p |
| ลิงค์ | COMPUTER FILE |
| หัวเรื่อง | Electrolytic grinding |
| | Semiconductor wafers |
| | SEMICONDUCTOR WAFERS --FINISHING [] |
| | Semiconductors |
| | SEMICONDUCTORS --POLISHING [] |