| Type |  Book |
| ชื่อเรื่อง | Vacuum technology, thin films, and sputtering : an introduction / R.V. Stuart |
| ผู้แต่ง | Stuart, R. v |
| ISBN | 0-12-674780-6 |
| พิมพลักษณ์ | Orlando : Academic Press, c1983 |
| รูปเล่ม | 151 p |
| หัวเรื่อง | Cathode sputtering (Plating process) |
| | Sputtering (Physics) |
| | Thin films |
| | Vacuum technology |